功率器件，具有處理高電壓、大電流能力的功率型半導(dǎo)體器件，也被稱為電力電子器件。由于早期主要用于電力設(shè)備的電能轉(zhuǎn)換和控制電路方面，因此得名“電力電子器件”。那么功率器件的高電壓有多高，大電流有多大呢？目前來看，電壓處理范圍通常為數(shù)百伏上千乃至上萬伏，電流可達幾十及幾千安。

       典型的功率器件有Diode、SCR、MOSFET 、IGBT、MCT、IGCT、IEGT、IPEM、PEBB等。按照導(dǎo)通、關(guān)斷的受控情況可分為不可控、半控和全控型功率器件；按照載流子導(dǎo)電情況可分為雙極型、單極型和復(fù)合型功率器件；按照控制信號情況，可以分為電流驅(qū)動型和電壓驅(qū)動型功率器件。

       功率器件的市場非常龐大，它助力于全球的環(huán)境友好、節(jié)能減排事業(yè)。高鐵、特高壓、充電樁等電力轉(zhuǎn)換的場合都離不開功率器件。每年功率器件都有巨大的出貨量。由于現(xiàn)階段生產(chǎn)還無法做到100%的合格率。所以每一顆功率芯片都要進行指標(biāo)測試，每一張晶圓都要進行篩選測試。在片的篩選測試必須要具備的是晶圓自動化測試夾具，即自動化高壓探針臺，以及靜態(tài)參數(shù)測試儀表。

功率電子在片測試所面臨的困難及應(yīng)對方案：

1、高電壓：最高可達10kV；高壓下保證低漏電測試；容易出現(xiàn)打火現(xiàn)象

2、大電流：最高可達600A在片電流；需要小的接觸電阻保證精度；電壓降明顯

3、薄wafer：SiC薄wafer可達50μm厚度，易碎；采用TAIKO結(jié)構(gòu)

4、溫度范圍廣：-60℃~300℃變溫測試；不同溫度下探針臺的性能需要保證

5、測試效率及安全性：自動化跑片；設(shè)備及人員安全

       由此可見，功率器件在片測試在高電壓或者大電流下進行，這對設(shè)備以及操作安全性都提出了很高的要求，需要在設(shè)計之初就考慮到如何應(yīng)對。

1.應(yīng)對高壓，專用的大功率載物臺設(shè)計，加入絕緣層，防止背電極加高壓打火；三通軸設(shè)計，減小漏電流；絕緣油和高壓探卡的加持，輕松解決高壓打火。

2、應(yīng)對大電流，加粗的電纜設(shè)計，加寬以及多指的大電流探針，載物體鍍金減小接觸電阻。

3、應(yīng)對薄wafer，加密而又減小直徑的真空孔設(shè)計，避免薄wafer吸附損傷；載物臺可以完全拉出腔體，用濾紙取放薄wafer輕松自如；提供定制化的TAIKO載物臺解決翹曲。

4、應(yīng)對溫度，集成的溫控系統(tǒng)，只需干燥空氣可實現(xiàn)-60℃~300℃的溫度變化，溫變效率高，穩(wěn)定性好；低溫輕松應(yīng)對結(jié)霜問題；配合電動針座可實現(xiàn)任意多個溫變下的無人值守測試；提供一站式方案。

       功率電子起源早，發(fā)展快，尤其是造車新勢力的異軍突起，既實現(xiàn)了我國在機動車方面的彎道超車，也大大推動了國內(nèi)功率電子的發(fā)展。

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