半導(dǎo)體設(shè)備的升級迭代，很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。其中，靜電卡盤就是一個典型的細(xì)分零部件市場，其在半導(dǎo)體制造工藝的多個環(huán)節(jié)扮演著重要作用。

     在先進(jìn)的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟，圓片需要在多達(dá)幾百種的工藝設(shè)備之間來回傳輸并進(jìn)行加工檢測。在加工過程中，圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上。

靜電卡盤是什么

     靜電卡盤ESC（Electrostatic Chuck），又稱靜電吸盤，是一種利用靜電吸附替代傳統(tǒng)機械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢技術(shù)，被稱為“半導(dǎo)體工藝固定晶圓的‘無形之手’”，在加工過程中起到重要作用。目前主要應(yīng)用于離子刻蝕ETCH、離子注入IMP、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD。

靜電卡盤分類

     靜電卡盤ESC（Electrostatic Chuck）可分為庫侖型和J-R型兩種。兩者的區(qū)別是對靜電卡盤施加高壓直流電時，庫侖型靜電卡盤的陶瓷介電層上表面會與被吸附產(chǎn)品間產(chǎn)生極性相反的極化電荷，從而形成靜電吸引力來實現(xiàn)吸附固定。而J-R型靜電卡盤則是在陶瓷介電層中帶電離子遷移并聚集在上表面，在靜電卡盤與被吸附產(chǎn)品間形成很強的電場，從而實現(xiàn)吸附固定。

     成都中冷低溫具有多年的研發(fā)及生產(chǎn)經(jīng)驗，TC200系列具有-65oC 到 +200oC 擴(kuò)展溫度范圍，低噪聲，直流控制系統(tǒng)。在前面板上可設(shè)置多達(dá)5個溫度和斜坡/浸泡/循環(huán)熱循環(huán)裝置，采用LAN ， RS232；可選:GPIB通訊接口， 無需液氮或任何其它消耗性制冷劑，高效的冷卻系統(tǒng)，用于可靠、低溫測試混合動力車和其他高功率設(shè)備

     該系統(tǒng)因其緊湊的冷卻機組、極小的占地面積、極低的能耗以及低廉的配套成本將成為各大半導(dǎo)體廠商和實驗室的首選產(chǎn)品。

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