泛半導(dǎo)體制程原物料與副產(chǎn)物中含有多種危害性氣體，這些危害物有腐蝕管線的危險，有些與其他危害物相遇或累積大量濃度時有火災(zāi)爆炸的危險，為避免這些危害的發(fā)生，目前半導(dǎo)體廠、面板廠、光伏廠等涉及特種氣體行業(yè)都會在機臺近端裝設(shè)Local Scrubber以處理危害性氣體。
目前泛半導(dǎo)體行業(yè)所使用的Scrubber有十幾種品牌之多，而依其原理大概可分為：電加熱水洗式、燃燒水洗式、
水洗式、干式吸附式、等離子體水洗式、等離子體熱分解干式吸附式、催化吸附式、電熱過濾式等，各類型Local Scrubber各有優(yōu)缺點，我們應(yīng)根據(jù)實際廢氣的種類及其理化性質(zhì)，去選擇合適的廢氣處理裝置，一般應(yīng)考慮重點如下：成本預(yù)算、運行維護成本、PM頻率與難易度、安全性及處理效率、現(xiàn)場具備哪些廠務(wù)條件。
對于Local Scrubber的處理效率的驗證并無明確的檢驗措施，一般只要處理后的廢氣體積濃度符合法規(guī)所規(guī)定的TLV值或排放容許濃度即可；
總之，廢氣處理裝置的主要作用是處理和凈化產(chǎn)生的廢氣，以減少對環(huán)境和人類健康的負(fù)面影響。這些裝置通常用于工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體廠、光伏廠，等廢氣處理設(shè)施等地方，以處理和減少產(chǎn)生的有害氣體和污染物的排放。這些廢氣處理裝置的目標(biāo)是降低廢氣中的有害物質(zhì)濃度，確保排放符合環(huán)境法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)，保護環(huán)境和人類健康。
按產(chǎn)品型類型分：
按工藝機臺劃分：
常用尾氣處理器產(chǎn)品介紹：
| 類型 | 應(yīng)用范圍 | 應(yīng)用工藝 |
| 等離子體水洗式 | 1.可燃性氣體、腐蝕性氣體（SiH4,SiH2CL2,TEOS,H2,NH3,CL2,F2,HCL,NH3,PH3,BCL3等） 2.通過Plasma徹底分解PFCs 氣體(SF6,CF4, NF3,) 3. 處理PFCs分解后的水溶性氣體； 4. 最大進氣量600slpm； | Etch |
| 水洗式 | 1.處理水溶性氣體(NH3,CL2,HF,F2,HCL等)； 2.最大處理量600slpm（含GN2）； | Etch |
| 干式吸附式 | 1.通過化學(xué)吸附處理毒性氣體（BCL3,HCL,CL2，HF,HBr,F2,CLF3,NH3,PH3,AsH3,TMAl,SiH4)； 2.吸附劑容量：100L； 3.不相容的氣體禁止使用同一吸附劑； AsH3進氣量≤2slpm、PH3進氣量≤2slpm； | Implant， LED AlGaInP InP GaAs MOCVD, HVPE(氫化物氣相外延） |
| 電熱水洗式 | 1. 處理可燃性氣體/水溶性氣體/可燃性有毒氣體(SiH4/SiH2CL3,TEOS,H2,NH3,CH4,CL2,F2,HCL,NH3,PH3,BCL3,NF3) 2. 處理某些可燃性的有毒氣體。 3. 不能處理PFCs(全氟碳化合物） ( 除 NF3外,處理效率80%) 但是能處理PFCs離解后的氣體， 如PFCs離解成F2, HF 4.最大處理量600slpm（含GN2\CDA）； | CVD(PECVD, LPCVD, APCVD, SACVD, MOCVD, ALD) |
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