在半導(dǎo)體測(cè)試中，測(cè)試機(jī)的測(cè)試頭和分選機(jī)（handler）或晶圓探針臺(tái)（wafer prober）需要對(duì)接產(chǎn)生信號(hào)聯(lián)系，在被測(cè)試器件(device to be tested )之間，通過(guò)輸入輸出測(cè)試信號(hào)(testing signal )，執(zhí)行被測(cè)試器件的測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試裝置和可安裝在這樣的半導(dǎo)體測(cè)試裝置上的接口板。

       在ATE 設(shè)備測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試頭(test head)和晶圓探針（prober）之間機(jī)械接口穩(wěn)定連接相當(dāng)重要?？蛻敉媾R著頻繁測(cè)試對(duì)接任務(wù)，測(cè)量精度要求高，不同的測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)組合，位移等一系列挑戰(zhàn)......所以他們需要在測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間建立一組穩(wěn)定的信號(hào)連接關(guān)系，則需要臨時(shí)將被測(cè)試器件實(shí)際安裝在半導(dǎo)體測(cè)試裝置上，通過(guò)半導(dǎo)體測(cè)試裝置上設(shè)置的信號(hào)組件與被測(cè)試之間輸入輸出測(cè)試信號(hào)來(lái)執(zhí)行測(cè)試。

以下是常見(jiàn)的接口對(duì)接示意圖：

Tester – Prober 測(cè)試機(jī) - 探針臺(tái)

Tester – Handler 測(cè)試機(jī) – 分選機(jī)

Tester - Prober 測(cè)試機(jī) - 探針臺(tái)