隨著時代的發(fā)展,很多新興的產(chǎn)業(yè)和詞語被廣泛的應(yīng)用起來.氣體管道工程也逐漸被大家熟知。氣體管道工程在生產(chǎn)、生活各方面都有所應(yīng)用、但是氣體管道工程施工技術(shù)要求及驗收標(biāo)準(zhǔn)是優(yōu)么呢?下面就來給大家簡單介紹一下:

氣體管路工程施工規(guī)范

1、進(jìn)行配管焊接時，必須穿戴上干凈無塵室專用手套及護(hù)具。

2、配管材料氣體接觸部分，不可用污穢的手套或用手直接觸摸。

3、配管時必須使用超高純度氬氣作為焊接之氣體，施工完后所有管路須用超高純度氬氣或氮氣不間斷PURGE，PURGE 排氣須接至室外排放，以避免人員窒息危險。

4、配管焊接時，所有臨時管路須為SUS 316 硬管。

5、所有配管焊接須于每日施工前，先做每一管徑試件試焊，并須記錄焊接機(jī)之焊接參數(shù)、合格試件及焊接參數(shù)，經(jīng)監(jiān)工人員檢驗合格后，施工人員才能開始施工。

6、焊接時，須使用內(nèi)壓管理。

7、1/2 英寸（含）以下管道可以使用彎管器，管彎半徑R＞5D(D 為外徑)。若無法滿足上述要求則一律使用ELBOW 施工。

8、配管時，切管、修倒角及端面，管子必須直立向下或平行，以避免鐵屑附著于管內(nèi)壁，且須小心進(jìn)刀避免刮傷管內(nèi)光滑表面。

9、配管切割后須以潔凈 N2 GUN 氣體清除，管內(nèi)壁切割面應(yīng)位于下流方向。

10、施工進(jìn)行中，須按圖施工，如發(fā)現(xiàn)施工圖面出現(xiàn)問題或要求設(shè)計更改時，應(yīng)立即回報監(jiān)工處理，不可擅自做主。

11、所有 VCR 接頭，在確定不會再拆或作復(fù)原時，安裝Gasket 鎖緊，并須于泄漏偵測孔標(biāo)示圓圈標(biāo)記。

12、所有完工之管路每隔 l.5 公尺及轉(zhuǎn)彎、穿墻后，須加掛或貼上該種氣體名稱，流向之標(biāo)簽，標(biāo)簽須以劃線對準(zhǔn)，務(wù)求整齊一致。

13、施工承包商應(yīng)將存儲及施工區(qū)域的機(jī)具、環(huán)境衛(wèi)生整理干凈。

14、須符合驗收標(biāo)準(zhǔn)，若違反或不符此規(guī)定之項目，須配合重新施工至合乎規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，而因此衍生出之成本增加及進(jìn)度延誤責(zé)任，一律由承包商自行吸收。

15、臨時性潔凈棚裝設(shè)在現(xiàn)場。管路工作中，所有的預(yù)作管線部份均需在臨時潔凈棚內(nèi)進(jìn)行，以控制其微塵數(shù)。

16、焊接工作

          I. 焊接尾端覆以有孔之干凈塑料套蓋再接上差壓計做焊接管內(nèi)壓力控制管理，以隔絕大氣中之塵埃、水氣及不純物。

         II. 即使焊接完成也要繼續(xù)通氬氣保持循環(huán)狀態(tài)，并將焊接處金屬基底降溫。

17. 純度提升之過程

在完成保壓試驗后，為了提升管線內(nèi)部的純凈度，下列的過程可以一一進(jìn)行之。

         a、沖吹過程所有的次主管均以純氬氣或氮氣反復(fù)噴洗(cycle purge) ，其使用氣體的流速約為15-20m／sec

         b、提純過程

以純氬氣或氮氣持續(xù)沖吹，沖吹壓力以不超過各測試儀器入口壓力為原則。

管道分析測試和驗收標(biāo)準(zhǔn)

1. 測試前檢查要項

     a) 所有管道測試前必須先確認(rèn)管路標(biāo)簽與實際氣體管路是否相符，標(biāo)簽氣體流向，焊道品質(zhì)確認(rèn)。

     b) 目測, 查看是否有歪斜、扭曲，是否有管夾松脫。

     c) 現(xiàn)場使用的測試儀器均要有校正記錄資料。

2. 所有管路現(xiàn)場測試結(jié)果必須經(jīng)過測試人員和業(yè)主相關(guān)人員簽字。

3. 所有焊點和 VCR 連接點必須在通過測試后粘貼Q.C.標(biāo)簽。

4. 測試結(jié)果審核：

     a) 測試結(jié)果，須經(jīng)過業(yè)主 現(xiàn)場人員簽名認(rèn)可，才算完成。

     b) 測試完成后，測試報告必須填寫完整并由相應(yīng)的業(yè)主人員簽名。

5. 保壓測試

     a) 記錄方式須采圓盤式或電子式記錄。

     b) 須有連續(xù)記錄功能。

     c) 測試時間 Bulk Gas 及Specialty Gas 都須要保壓超過24hr，壓力正負(fù)值不得大于2 %。

     d) 所有管路一律使用 PN2 作為測試氣體。

     e) 銜接完，開始測試前要先觀察保壓計上的表面壓力30 分鐘，確認(rèn)壓力沒有變化，才開始記錄。

     f) 保壓測試務(wù)必確認(rèn)記錄器通往測試管路之閥門已打開，否則等于沒在做氣密測試。

     g) 嚴(yán)禁使用檢漏液作為測漏工具。

     h) 保壓壓力為 1.5 倍工作壓力。

6. 管路吹掃——N2 Purge

     a) 管路吹掃的標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)結(jié)與保壓測試相同，吹掃須用UHP N2

     b) N2 Purge 必須排放廠外或General Exhaust，禁止向Fab 或Sub-fab 排放。

7. Helium Leak 測試

     a) 測試時，業(yè)主人員必須在場。

     b) 須確認(rèn)氦測漏機(jī)已經(jīng)抽至 1X10-9atm*cc/sec,才可以進(jìn)行。

     c) 測試人員須從焊接人員獲得焊點清單，并依照清單檢查實際焊點。在做 He Leak Test時務(wù)必每一個焊道和VCR 接點均做噴氦氣測試，確認(rèn)沒問題后于焊道旁邊貼He leak test pass ok 標(biāo)簽并簽名 , 并予以記錄在焊點清單上。

     d) 測試點噴 He 時，務(wù)必遵行“由近而遠(yuǎn)，由上而下”的原則進(jìn)行測漏，以免He 飄散

而達(dá)不到測漏之效果與反應(yīng)真實漏率。

     e) 噴氦氣測試時，當(dāng)管路較長時，噴He 氣測試一個焊道，需等3 分鐘后確認(rèn)數(shù)值沒有上升的情況下，才可以再對下一個焊道做測試。（根據(jù)管路的長度來適當(dāng)調(diào)節(jié)確認(rèn)數(shù)值沒有上升的時間）

     f) 氦測漏測試指標(biāo)：小于5x10-9atm·cc/sec.

8. Moisture 含量測試：

     a) 須使用 PN2 作為purge 氣體。

     b) 分析時必須連續(xù)記錄顯示微水份含量之下降趨勢,在測試數(shù)值達(dá)到小于100ppb 時，須繼續(xù)記錄30 分鐘，并確認(rèn)數(shù)值沒有再上升，測試記錄才可結(jié)束。

     c) 測試時，管路不得加裝使用Purifier，接頭使用VCR 接頭，禁止使用Teflon 軟管。

     d) Moisture 含量測試指標(biāo)：小于100ppb。

9. 微 O2 含量測試：

     a) 須使用 PN2 作為purge 氣體。

     b) 分析時必須連續(xù)記錄分析值，以顯示微氧含量之下降趨勢。在測試數(shù)值達(dá)到小于100ppb 時，須繼續(xù)記錄30 分鐘，并確認(rèn)數(shù)值沒有再上升，測試記錄才可結(jié)束。

     c) 測試時，管路不得加裝使用Purifier，接頭使用VCR 接頭，禁止使用Teflon 軟管。

     d) 微 O2 含量測試指標(biāo)：<100ppb(供參考，根據(jù)具體的制程要求確定)。

10.Particle 測試：

     a) 使用 PN2 作為purge 采樣氣體。

     b) 測試前所有 Piping 均須執(zhí)行加減壓沖吹（或Cycle Purge 至少30 次以上），徹底吹出管路里之微塵。

     c) 測試中，須使用橡膠槌輕敲管壁，以確認(rèn)無Particle 殘留。

     d) 測試時間為 10 分鐘，測試壓力30~90psig，測試速率為7m/s。

     e) 本項測試須連續(xù)3次通過測試標(biāo)準(zhǔn)（標(biāo)準(zhǔn)為大于或等于的0.1μparticle 不得超過1個）。

     f) 指標(biāo)：≤1pcs/[email protected]μm

11.銜接管路

     a) 銜接時盡量保持N2 purge，管路銜接完成后方可關(guān)閉N2 purge，

     b) 測試完成后，銜接管路時，于管路接點處，張貼“ QA/QC PASS OK”易碎貼紙，防止非相關(guān)人員拆除接點，并于貼紙上簽上員工號碼，易于查詢。

     c) 注意:必須填寫Tie-in request form 向業(yè)主人員申請, 并嚴(yán)格遵照要求執(zhí)行。